智能氣體配比器的簡單介紹

智能氣體配比器的詳細信息

質量流量計智能氣體配比器，可選配七星各種系列流量計，觸摸屏控制調節(jié)不同時間不同流量氣體，操控簡單，

CS300氣體質量流量控制器是七星流量計專門為大規(guī)模集成電路裝備設計的產品，該產品在原有CS200氣體質量流上，采用了基于DF的壓力信號補小償算法，全量控制器的基礎新的金屬表面處理工藝，產品各項技術指標均嚴格按照SEM標準，支持Ⅵ型，C型GS氣路系統(tǒng)。

? 準確度采用設定點精度，產品精度可達±1.0% S.P.，響應時間最快≤ 0.5sec。

? CS300系列產品可帶有壓力補償功能，對前段氣體壓力的擾動進行有效的補償，減少壓力變化對瞬時流量影響，從而保證產品工作的穩(wěn)定性和準確性。

質量流量計智能氣體配比器

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