IDP-3采用密封設計.其中馬達和軸承在真空層之外而確保了抽出氣體的完全隔離.這種設計具有低噪音.低振動.可靠性強以及維護簡便等優(yōu)點.除此之外.這種窩渦旋泵的設計還可以降低突發(fā)故障的可能性.
該泵大小為14x7x6英尺(356x178x152厘米).運轉速度為60L/m.基礎壓力低于250mTor,僅為同等尺寸的隔膜泵的四分之一.
該IDP-3的無油化設計不僅降低了真空系統(tǒng)中油污染的可能性.而且通過減少油耗及相關的諸如填充.處理及清潔等維修成本.從而減少了總成本的開支.
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